| 仪器/工装名称 | 测试场景/核心用途 | 合规标准依据 | 国家检定规程 | 计量校准/内部核查周期 | 日常点检&合规判定标准 | 行业对标参考设备 | 设备实拍图 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 温湿度计 | 该温湿度计配置于 EPA 区域，核心用途为实时监控环境温湿度、为 ESD 防护作业及测试活动提供环境基础数据， | IEC 61340‑5‑1:2024 §5.2 ANSI/ESD S20.20‑2021 |
JJF 1076‑2020 《数字式温湿度计校准规范》 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
温度偏差≤±2℃，湿度偏差≤±5%RH | / |  |
| 干燥试验箱 / 电子防潮箱 / 氮气柜 | ESD控制物品（防静电服、鞋、帽、手套、包装材料等）导入验证所需试验设备。 |
IEC 61340‑5‑1:2024 Clause 5.2 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 4 |
JJF 1101‑2019 《环境试验设备温度、湿度参数校准规范》 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
箱内： 温度偏差： ≤±2℃， 温度均匀度： ≤±2.5℃， 温度波动度： ≤±1℃。 |
/ |  |
| 静电衰减 / 离子平衡测试仪 | 专属检测离子风机、离子风棒、离子风枪等静电消除设备，精准测试平衡电压与静电衰减时间。 | IEC 61340‑5‑1:2024 §6.3 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 3 ESD STM3.1 |
JJF 1687‑2017 《静电消除器性能校准规范 》 JJF(电子)31003‑2008 《充电平板检测仪校准规范 》 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
1. 金属平板探头移动顺畅、定位准确； 2. 静电电压测量：最大允许示值偏差:±(3%+2字)； 3. 衰减时间：最大允许示值偏差:±5%。 |
EFM023 CPM374 |
 |
| 自动离子风机综合分析仪（可选升级） | 自动扫描并采集离子风机平衡电压、衰减时间、极性分离特性， 生成趋势曲线与合规判定报告， 适合高端客户、半导体、汽车电子等需要长期趋势监测与数据追溯的场景。 非 ANSI/ESD S20.20 强制要求，属升级选项。 |
IEC 61340‑5‑1:2024 Clause 6.3 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 3 ANSI/ESD STM3.1 |
暂无国家统一检定规程， 可参照： ANSI/ESD STM3.1 推荐方法：按制造商技术规格执行校准 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
1. 金属平板探头移动顺畅、定位准确； 2. 静电电压测量：最大允许示值偏差:±(3%+2字)； 3. 衰减时间：最大允许示值偏差:±5%。 4. 测试报告可导出、可追溯。 |
TREK 157 SIMCO IONSAFE 系列 KEYENCE 离子风机分析系统 |
|
| 便携式表面电阻测试仪 | 全域检测防静电耗材与工装表面阻抗，包含台垫、地板、工作服、鞋、周转箱、吸塑盘、包装袋等。 | IEC 61340‑5‑1:2024 §6.2 ESD TR53‑01‑2022 |
JJF 1285-2011《表面电阻测试仪校准规范》 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
准确度等级：10级， 基本误差：≤±10% 1)测试电压10V/100V,最大允许误差士10%; 2)电阻测量范围1.0X103Ω~1.0X1011Ω, 最大允许误差士10%。 |
VICTOR385 PRS801 |
 |
| 接触式静电电压测试仪 | 针对PCB裸板、金属元器件等孤立导体进行表面静电电压精准测量。 | IEC 61340‑5‑1:2024 §6.1 ANSI/ESD S20.20‑2021 §8.3.2 |
JJG 494-2005 《高压静电电压表》 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
精确度 ：≤±10% | TREK 821HH HZR‑521 |
 |
| 非接触式静电电压测试仪 | 无接触检测绝缘物料、产品表面静电电压，避免接触放电风险。 | IEC 61340‑5‑1:2024 §6.1 ANSI/ESD S20.20‑2021 §8.3.1 |
JJF 1517-2015《非接触式静电电压测量仪校准规范》 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
精确度 ：≤±10% | FMX‑004 ACL‑350 |
 |
| 静电场强计 | 用于EPA区域内空间静电场强检测，评估绝缘体静电积聚风险。 | IEC 61340‑5‑1:2024 §6.1/6.3 ESD STM3.1 |
JJF 1517-2015《非接触式静电电压测量仪校准规范》 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
标准场强误差：≤±5% | TREK 520 SIMCO FMX‑003 |
 |
| 接地电阻测试仪 | 精准测量车间设备接地、工位接地、大地接地系统电阻值。 | IEC 61340‑5‑1:2024 §5.3 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 1 |
JJG 366‑2019 《接地电阻表检定规程》 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
准确度等级：2级； 最大允许误差：≤±2% |
UT273Ex VC4105A |
 |
| 钳形接地电阻测试仪 | 用于已接地系统接地电阻在线测量，无需断开接地线或打入辅助电极。 | IEC 61340‑5‑1:2024 §5.3 IEEE Std 81 |
JJG(粤)078‑2019 《钳形接地电阻测试仪检定规程》 JJG 1054-2009 《钳形接地电阻仪》 （或按制造商技术规格 + 标准电阻校验）。 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
准确度等级：2级； 最大允许误差：≤±2% |
FLUKE 1625‑2 KYORITSU 4200 |
 |
| 表面电阻测试仪（高阻型） | 量化测试防静电材料表面两点间电阻值，判定导电/防静电/绝缘性能等级。 | IEC 61340‑5‑1:2024 §6.2 ANSI/ESD STM97.1 |
JJG 982‑2022 《直流高阻计检定规程》 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
准确度等级：10级， 基本误差：≤±10% 1)测试电压10V/100V,最大允许误差士10%; 2)电阻测量范围1.0X103Ω~1.0X1011Ω, 最大允许误差士10%。 |
DESCO 19780 ACL‑800 |
 |
| 静电屏蔽袋测试工装 | 用于防静电屏蔽袋的表面电阻与屏蔽效能测试，是敏感元器件包装导入验证的关键设备。 | ANSI/ESD S541 ANSI/ESD STM11.31 |
ESD工装检验作业指导书（SIP） （配合表面电阻测试仪/高阻箱使用）。 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
屏蔽效能符合10⁶–10⁹Ω及穿透电压要求 | 定制工装 ACL‑TBD‑01 |
 |
| 人体综合测试仪 | 一体化检测作业人员防静电手腕带、防静电鞋、防静电服的导通与阻抗性能。 | IEC 61340‑5‑1:2024 §5.4 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 2 |
暂无国家统一检定规程，可依据： JJF(冀)244‑2025《人体综合电阻测试仪校准规范》 JJF(陕)054‑2021《人体综合电阻测试仪校准规范》 或"优先采用设备制造商技术规格 + 标准电阻校验"作为通用方案。 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
PASS/FAIL判定正常 | QUICK492G SL‑031 |
 |
| ESD门禁 / 闸机系统 | EPA区域人员准入管控系统，集成身份识别（刷卡/指纹/人脸）与静电检测功能， 实现“身份验证 → ESD测试合格 → 通道开启”闭环管理， 防止未通过静电防护检测的人员进入EPA区域。 |
IEC 61340‑5‑1:2024 §5.4 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 2 GB 50348‑2018《安全防范工程技术标准》 |
暂无国家统一检定规程，可按以下方式执行： ● 门禁控制器：参照设备制造商技术规格校准 ● ESD测试模块：参照人体综合测试仪校准方法 ● 系统集成：按企业《ESD门禁系统验收规范》 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
1. 刷卡/生物识别功能正常； 2. ESD测试PASS/FAIL判定准确； 3. 闸机开闭动作可靠； 4. 不合格人员禁止入内； 5. 数据记录可追溯。 |
SL‑ESD6000 DESCO ESD Access Control 定制翼闸/摆闸系统 |
|
| 人体行走电压测试仪 | 专属验证人体—防静电鞋—地板系统组合的静电消散性能。 | IEC 61340‑5‑1:2024 §5.4 ANSI/ESD STM97.2 |
暂无国家统一检定规程，可参照地方校准规范或制造商技术规格执行校准。 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
静电电压测量：最大允许示值偏差:±(3%+2字)； | DESCO 19431 Prostat PGA‑710KIT |
 |
| 手腕带在线监测仪 | 用于EPA工作站人员佩戴的防静电手腕带实时在线监测，当腕带开路、接触不良或电阻超限时即时声光报警。 | IEC 61340‑5‑1:2024 §5.4 ANSI/ESD S20.20‑2021 §8.2.2 |
暂无国家统一检定规程，可依据： JJF(冀)244‑2025《人体综合电阻测试仪校准规范》 JJF(陕)054‑2021《人体综合电阻测试仪校准规范》 或按制造商技术规格执行校准。 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
报警灯/蜂鸣器正常，开路即时报警 | DESCO 19350 QUICK 492C+ |
 |
| 脚踏板 / 脚跟接地测试仪 | 专属检测防静电鞋、脚跟带与人体构成的接地回路阻抗，适用于无腕带工位、移动作业。 | IEC 61340‑5‑1:2024 §5.4 ANSI/ESD STM97.2 |
暂无国家统一检定规程，可依据： JJF(冀)244‑2025《人体综合电阻测试仪校准规范》 JJF(陕)054‑2021《人体综合电阻测试仪校准规范》 或按制造商技术规格执行校准。 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
PASS/FAIL正常 | DESCO 19351 Prostat PRS‑801FG |
 |
| 数字万用表 | 用于ESD接地系统连通性检测、接地插座接线正确性验证、连续监控系统供电状态检测。 | IEC 61340‑5‑1:2024 §5.3 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 2 |
JJF 1587-2016 《数字多用表校准规范》 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
误差：以万用表技术规格书为准 | FLUKE 15B FLUKE 17B |
 |
| 高电阻箱（10⁴–10¹³Ω） | ESD高阻类测试仪器的标准校准器具，用于表面电阻测试仪、兆欧表、人体综合测试仪的内部精度核查。 | IEC 61340‑5‑1:2024 计量溯源要求：ISO 10012《测量管理体系 — 测量过程和测量设备的要求》 |
JJG 982-2022《直流电阻箱检定规程》 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
准确度等级：2级， 基本误差：≤±2% | / |  |
| 低电阻箱（0.001–100Ω） | 低阻类测试仪器专用标准器具，用于接地电阻测试仪、低电阻表、导通测试仪的精度核查。 | IEC 61340‑5‑1:2024 计量溯源要求：ISO 10012《测量管理体系 — 测量过程和测量设备的要求》 |
JJG 982-2022《直流电阻箱检定规程》 |
● 年度外部校准：1年/次 ● 月度内部核查：1月/次 |
准确度等级：2级， 基本误差：≤±2% | / |  |
| 柱状电极（测试工装） | 配套电阻测试仪使用，用于点对点接地电阻、材料对接电阻测试。 |
IEC 61340‑5‑1:2024 Clause 6.2 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 3 |
1)质量范围2.3kg士0.3kg; 2)接触表面圆形直径为50mm~64mm; 3)导电橡胶总电阻不超过1000 Ω |
● 年度外部校准：1年/次（配套表面电阻测试仪器一起校准） ● 月度内部核查：1月/次 |
1. 电极表面无氧化； 2. 绝缘结构完好； 3. 接触导通良好。 |
/ |  |
| 同心环电极（测试工装） | 精准测试材料表面电阻、体积电阻，适用于台垫、地板、薄膜等平面防静电材料。 |
IEC 61340‑5‑1:2024 Clause 6.2 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 4 |
《ESD测试工装内部核查作业指导书》 |
● 年度外部校准：1年/次（配套表面电阻测试仪器一起校准） ● 月度内部核查：1月/次 |
1. 环体平整无变形； 2. 绝缘支撑完好； 3. 电极同心度符合要求。 |
/ |  |
| 两点式探针电极（测试工装） | 适配薄型、小型防静电材料的简易电阻测试，适用于薄膜、薄片、小型工装。 |
IEC 61340‑5‑1:2024 Clause 6.2 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 4 |
《ESD测试工装内部核查作业指导书》 |
● 年度外部校准：1年/次（配套表面电阻测试仪器一起校准） ● 月度内部核查：1月/次 |
1. 探针针尖无弯曲； 2. 线缆导通良好； 3. 探针间距固定。 |
/ |  |
| 钳形电极（测试工装） | 非破坏性快速测试工装，专为不规则、柔性防静电产品设计。 |
IEC 61340‑5‑1:2024 Clause 6.2 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 4 |
《ESD测试工装内部核查作业指导书》 |
● 年度外部校准：1年/次（配套表面电阻测试仪器一起校准） ● 月度内部核查：1月/次 |
1. 钳口触点平整； 2. 夹持松紧适度； 3. 测试时贴合样品。 |
/ |  |
| 腕带内外侧表面电阻（测试工装） | 防静电手腕带专用测试工装，分别检测腕带内侧、外侧表面阻抗。 |
IEC 61340‑5‑1:2024 Clause 5.4 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 4 |
《ESD测试工装内部核查作业指导书》 |
● 年度外部校准：测试工装，不需外校 ● 月度内部核查：1月/次 |
1. 工装结构稳固； 2. 接触电极清洁； 3. 尺寸符合标准。 |
/ |  |
| 恒定面积压力电极（测试工装） | 防静电手套、手指套专用测试工装，消除人工测试压力不均导致的误差。 |
IEC 61340‑5‑1:2024 Clause 6.2 ANSI/ESD S1.1 / ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 4 |
《ESD测试工装内部核查作业指导书》 |
● 年度外部校准：测试工装，不需外校 ● 月度内部核查：1月/次 |
1. 压力施压机构顺畅； 2. 接触面板平整； 3. 施压重量符合标准。 |
/ |  |
| 烙铁漏电压（测试工装）（1） | 专属检测恒温电烙铁、恒温焊台的漏电电压，防止精密元器件静电损伤。 |
IEC 61340‑5‑1:2024 Clause 6.4 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 3 |
《ESD测试工装内部核查作业指导书》 |
● 年度外部校准：测试工装，不需外校 ● 月度内部核查：1月/次 |
1. 工装金属板面清洁； 2. 接地连接可靠； 3. 漏电压超标立即停用。 |
/ |  |
| 烙铁交流漏电流（测试工装）（2） | 精准检测焊台、电烙铁的交流漏电流，排查隐性漏电隐患。 |
IEC 61340‑5‑1:2024 Clause 6.4 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 3 |
《ESD测试工装内部核查作业指导书》 |
● 年度外部校准：测试工装，不需外校 ● 月度内部核查：1月/次 |
1. 工装板面完好； 2. 接线端子牢固； 3. 漏电流数值精准。 |
/ |  |
| 绝缘支撑板（测试工装） | 高阻测试专用配套工装，隔离地面、台面导电干扰，保障高阻测试数据精准。 |
IEC 61340‑5‑1:2024 Clause 6.2 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 3 |
《ESD测试工装内部核查作业指导书》 |
● 年度外部校准：测试工装，不需外校 ● 月度内部核查：1月/次 |
1. 板面无裂纹； 2. 表面干燥清洁； 3. 绝缘阻值达标。 |
/ |  |
| 测试金属板（接地工装） | 静电电压测试、设备接地测试的标准基准工装，提供稳定接地基准。 |
IEC 61340‑5‑1:2024 Clause 5.3 ANSI/ESD S20.20‑2021 Table 3 |
《ESD测试工装内部核查作业指导书》 |
● 年度外部校准：测试工装，不需外校 ● 月度内部核查：1月/次 |
1. 金属板面平整； 2. 接地端子连接牢固； 3. 对地导通稳定。 |
/ |  |