除了离子风机,还有哪些高效的静电消除设备?
在电子半导体行业中,除离子风机外,还有诸多适配不同生产场景的高效静电消除设备,涵盖棒式、枪式、喷嘴式等针对性设备,也有真空紫外型等适配特殊环境的设备,具体如下:
离子风棒
这类设备由多根放电针组成,体积小巧易集成,适合自动化生产线或狭窄空间。像脉冲 AC 离子棒采用脉冲调制技术,能瞬间释放高密度正负离子,1.5 秒内即可快速中和静电,离子平衡可精准控制在 ±30V 以内。例如在 SMT 贴片机、晶圆传输线等场景,可将其安装在器件传输路径旁,配合压缩空气把离子输送到器件表面。部分智能款还带清洁报警和异常告警功能,累计运行一定周期会提示保养,还能对接 PLC 系统,方便生产线联动管控
离子风枪

属于便携式精准除静电设备,搭配压缩空气将电离后的空气定向喷出,适合对局部区域或小型工件做定点静电消除。在半导体芯片检修、小型模组组装等场景,员工可手持它对接触前的绝缘体或器件表面做针对性除静电操作。其优势是操作灵活,能深入设备角落等离子风机难以覆盖的区域,快速解决局部静电积聚问题。
离子风嘴(离子喷嘴)

体积紧凑,可固定在机械臂或生产线特定工位,通过压缩空气将离子定向吹向目标区域。比如基恩士的 SJ - LM 系列静电消除喷嘴,机身仅手掌大小,即便狭窄空间也能轻松安装,适配半导体芯片封装等高精度场景。它能精准对准微小作业区域释放离子,避免除静电过程中对周边精密器件造成干扰,同时可配合生产线节拍实现自动化同步除静电。
真空静电消除器

这类设备通过真空紫外光实现离子化,无需吹送空气,不会产生电磁噪声,还能避免 “过冲” 导致的反向充电问题,特别适配真空环境或对气流敏感的半导体场景。例如在晶圆静电卡盘拆卸时,可通过定时照射真空紫外光消除卡盘残留静电,避免拆卸过程中静电击穿晶圆;在扫描电子显微镜检测半导体样品时,它能消除电子束照射产生的电荷,保证检测图像清晰。此外,处理大型 LCD 面板基板时,多台并列安装还能增强大面积静电去除效果。
静电消除喷嘴

属于点式除静电设备,部分型号带静电可视化功能,通过指示灯颜色显示静电有无,方便工作人员确认消除效果。其体型小巧,可多角度安装,适配半导体精密装配等场景。比如在芯片引脚焊接前,将其固定在焊接工位旁,定向向引脚区域喷射离子,快速消除焊接前因物料摩擦产生的静电,避免静电影响焊接质量。
大范围静电消除风扇(大型款)

适合半导体洁净车间等大面积空间的静电消除。像 SJ - F2000/5000 系列,最大可覆盖 2×6m 的范围,通过脉冲 AC 方式和大功率风扇结合,实现超高速静电消除。这类设备可悬挂安装在车间顶部,针对晶圆存储区、器件周转区等大范围区域做整体静电管控,部分型号还能自动清洁电极针,8 年内可保持稳定除静电性能,减少维护工作量。
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