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光电显示洁净车间防护
在高洁净环境中同步解决静电吸附与粉尘污染，实现防静电与洁净度双达标。
光电显示洁净车间防护
案例背景
该光电显示企业的洁净车间对微尘与静电极为敏感，静电吸附粉尘会导致面板制程与贴合工序不良，良率与洁净度直接挂钩。
思研科技结合洁净环境要求，实施静电泄放改造、洁净材料选型与离子中和，并布设关键工位在线监测，实现防静电与洁净度协同达标。
痛点分析
粉尘吸附
静电吸附微尘，造成面板制程与贴合工序不良。
洁净材料不适配
普通防静电材料易释放粒子，污染洁净环境。
关键工位失控
贴合与检测工位缺乏静电监测，问题难以定位。
实施方案
01
静电泄放改造
洁净区接地与地板系统电阻控制在 1×10⁶~1×10⁹Ω。
02
洁净材料选型
选用低释放防静电材料，防静电与洁净度兼顾。
03
离子风中和
部署离子风机，离子平衡按 ANSI/ESD STM3.1 控制。
04
关键工位监测
关键工位静电电压 <100V，湿度维持 40%~60%RH，在线可查。
改善成效
±40V
静电电压
关键工位受控
2.1%
良率提升
贴合与制程改善
14台
离子风机
洁净区部署
18台
监测点位
全域在线
改造后洁净度稳定达标，良率提升 2.1%，静电防护证据链完整可追溯。
对标标准
ANSI/ESD S20.20
SJ/T 10694-2022
IEC 61340-5-1
ISO 14644 洁净室
适用场景
面板制程线
洁净组装区
贴合工位
检测工位
洁净仓储区
静电隐患不排查，产线停机成本会持续累积
从元器件损伤、设备误动作到良率波动，静电放电往往是隐藏诱因
现场诊断：排查接地、环境、设备与人员操作风险
方案定制：建立分级防护、监测与管理流程
工程落地：提供培训、文件记录与持续改进建议